发布时间：2026-04-22 13:41 融合X光、光学与AI技术，拓展半导体业务机会
东京--(美国商业资讯)--全球X光分析技术领军企业Rigaku Holdings Corporation（总部：东京都昭岛市；总裁兼首席执行官：Jun Kawakami；以下简称“Rigaku”）今日宣布，与Onto Innovation Inc.（总部：美国马萨诸塞州；首席执行官：Michael P. Plisinski；以下简称“Onto Innovation”）结成战略资本与业务联盟。

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Rigaku Holdings Corporation总裁兼首席执行官Jun Kawakami表示：“随着半导体器件日趋复杂，尤其是三维结构的重要性日益凸显，Rigaku一直在寻求通过将先进的基于模型的算法和AI驱动算法融入光学计量，来增强自身的分析能力。Onto Innovation不仅拥有深厚的光学技术与软件专长，还具备X光分析领域的物理建模能力，这使其成为我们理想的合作伙伴。”

此次联盟合作将直接推动Rigaku在半导体工艺控制领域的核心增长战略。双方旨在通过将Rigaku的X光技术与Onto Innovation互补的光学计量及先进分析软件（包括AI驱动解决方案）相结合，为日益复杂的半导体器件提供下一代混合计量解决方案。

Onto Innovation Inc.首席执行官Michael P. Plisinski表示：“半导体行业正在将更复杂、更新型的材料与新的3D晶体管结构以及实现3D和2.5D芯粒架构的先进封装技术相结合，生产变革的步伐正在加快。这些变化要求我们采用新的创新方式来测量、表征并最终控制这些新的生产技术。我们很高兴能扩大与Rigaku的合作伙伴关系，共同提供客户所需的解决方案，以保持他们的创新节奏。”

两家公司此前已在混合计量解决方案方面展开合作，将Rigaku的CD-SAXS与Onto Innovation的分析软件进行整合。新的协议将进一步加速和
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