906.49万股芯源微股份，如上述交易完成，则公司对芯源微的持股比例将达到17.90%。在半导体装备业务板块，公司的主要产品包括刻蚀、薄膜沉积、炉管、清洗、快速退火和晶体生长等核心工艺装备，芯源微的主要产品包括涂胶显影设备等核心工艺装备。双方同属集成电路装备行业，但产品布局有所不同，具有互补性，有利于双方协同效应的发挥。
  迎丰股份：拟6000万元至1.2亿元回购股份
  迎丰股份(605055)3月20日晚间公告，公司拟以6000万元—1.2亿元回购股份，用于后续实施员工持股计划或股权激励，回购股份价格不超过8元/股。

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