11月14日，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（下称“恒运昌”）将接受上交所科创板上市审核。  恒运昌一直聚焦半导体设备核心零部件等离子体射频电源系统，在半导体产业链中占据关键地位。  据了解，等离子体射频电源系统是激发并维持等离子体稳定运行的能量源泉，被誉为半导体设备的“心脏”。恒运昌的产品在功率稳定性和频率控制精度等指标上达到国际先进水平，不仅成功打破海外垄断的竞争格局，夯实了我国半导体产业基石，对提升我国半导体产业链供应链的韧性和安全水平也具有重要意义。  出货、量产、市占率第一，自研产品填补国内空白，打破国际垄断  等离子体射频电源系统是通过精确控制电流频率和功率，指挥着半导体制造过程中的等离子体变化，确保在晶圆表面精确、均匀地沉积出薄膜层、精细地刻蚀出复杂图形和去除光刻胶等，发挥着“指挥家”作用。  然而，如在刀尖跳舞的高精度要求、在米粒上雕刻“千里江山图”的空间尺度要求、以及对等离子体速度、一致性和稳定度的要求，导致等离子体射频电源系统技术壁垒高、研发投入大、研发周期长，国产化率极低。根据弗若斯特沙利文统计，2024年中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足12%。  恒运昌的技术突破，正是对中国半导体产业链安全与韧性的重要加固。作为国内领先的半导体设备核心零部件供应商，恒运昌聚焦于等离子体射频电源系统的技术攻关，历经十年，是国内首家量产出货过亿元的国产等离子体射频电源系统厂商。公司先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，其中公司自主研发的第二代产品 Bestda 系列可支撑28纳米制程，为中国大陆代工厂的成熟制程产能在全球前十大晶圆代工厂中达到25%以上作出强大技术贡献；第三代产品Aspen系列可支撑7-14纳米先进制程，其产品性能可对标国际巨头MKS和AE，填补国内空白。两系列成品均已通过验证并量产，成功打破了 MKS和AE长达数十年在国内的垄断格局。  据弗若斯特沙利文统计，2024年在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中，恒运昌的市场份额位列第一，市场地位领先。招股书显示，报告期各期自研产品收入金额分别为 1.04亿元、2.39亿元、4.56亿元和2.58亿元，占比分别为 66.02%、73.51%、84.34%和84.81%，收入规模和占比逐年上升。  实力强劲的自
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