研产品离不开持续的科研投入和高质量的研发团队，恒运昌研发金额和研发人员占比在国内外可比公司中均居高位。截止今年6月30日，公司已取得境内外108项专利。2022年至2025年6月底，研发投入金额不断增长，分别为0.22亿元、0.37亿元、 0.55亿元和0.43亿元，累计研发投入金额 1.57亿元。报告期内，供拥有研发人员158人，占员工总人数的42.13%。  发展前景广阔，毛利率水平领先，为我国半导体产业延链补链强链  据弗若斯特沙利文统计，未来全球等离子体射频电源系统市场规模将加速增长，2024-2028年复合增长率预计为9.4%，欧美等发达国家在这一领域长期占据着主导地位。我国大陆等离子体射频电源系统行业的起步相对较晚，但近年来展现出了快速的发展势头。中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统市场从2019年到2023年，市场规模由 31.7亿元增长至58.4亿元，年均复合增长率达到16.5%。未来中国大陆半导体行业等离子体射频电源市场规模将继续快速增长，2024-2028年复合增长率预计为12.5%。  数据来源：弗若斯特沙利文  随着全球半导体制造规模的不断扩大、光伏行业的降本增效、以及国产验证与替代的需求不断提高，促使等离子体射频电源系统企业不断提升稳定性和效率。据招股书披露，恒运昌产品已实现量产交付拓荆科技、中微公司、〈a class=singleStock target=_blank onmouseover=javascript:tip.createStockTips (event,hs_002371,北方华创) href=/002371/〉北方华创（002371）、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，也已通过中芯国际、长江存储等国内龙头终端晶圆厂的准入审核。此外，公司还在积极推进其他多款等离子体射频电源、匹配器、远程等离子源的后续验证工作，以期实现快速放量。  截至 2025年6月30日，公司与上述客户已实现百万级收入的自研产品共38款，实现千万级收入的自研产品共24款。稳定的合作关系为公司在半导体设备领域的持续发展提供了坚实基础，形成良性发展循环。  恒运昌的行业竞争力从毛利率水平上可以直观体现。据招股书显示，近年来，公司毛利主要来源于以等离子体射频电源系统为核心的自研产品，自研产品毛利分别为5,276.81万元
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