本报讯 （记者李昱丞）1月28日，国内半导体设备核心零部件领军企业深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称“恒运昌”，688785.SH）正式在上海证券交易所鸣锣上市，成为2026年第一家科创板上市企业，中国半导体产业链又添一员。    打破海外垄断    稳居国产射频电源第一梯队    恒运昌的核心产品等离子体射频电源系统被誉为控制等离子体的“纳米手术刀”，直接决定芯片刻蚀与薄膜沉积工艺的精度与良率，是半导体设备中最核心、技术壁垒最高的零部件之一。长期以来，这一领域被美国MKS与AE两大巨头垄断，2024年国产化率不足12%。    面对这一技术关卡，恒运昌坚持自主创新，历经十余年持续投入，成功构建了涵盖信号采样与处理、相位锁定、同步控制等在内的三大基石技术体系，并衍生出八大产品化支撑技术，形成完全自主可控的核心技术链。公司先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，其中第二代Bestda系列已支持28纳米制程，第三代Aspen系列更可覆盖7-14纳米先进制程，达到国际先进水平，填补国内空白。    截至2025年6月30日，公司累计获得261项授权专利，其中发明专利108项，另有133项发明专利处于申请阶段，同时承担工业和信息化部、科技部三项国家级重大科研课题。    凭借技术突破与产品迭代，恒运昌迅速赢得市场认可。根据弗若斯特沙利文权威统计，2024年恒运昌在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中市场份额高居第一，成为国产替代的核心力量。公司已与拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商建立深度战略合作关系，产品广泛应用于刻蚀、PECVD（等离子体增强化学气相沉积法）、ALD（原子层沉积法）等关键制程，并最终进入中芯国际等晶圆厂产线。    在国产化浪潮推动下，恒运昌业绩实现快速增长。招股书显示，2022年至2024年，公
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