稳定量供，有望推动公司从“面板显影液单品龙头”向“半导体电子材料平台型公司”升级。中科仪的干式真空泵产品已在中国各领先晶圆制造企业实现大批量应用，并已通过台积电、SK海力士、客户I的测试验证实现小批量出货，也可广泛应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备，并已实现批量交付。
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