务，是国内极少数具备光刻机核心零部件自主量产供货能力的企业。目前该公司多款集成电路工艺专用静电卡盘实现国产化批量交付，相关领域累计取得授权专利30余项。 国盛证券表示，海外厂商的产能已接近满负荷运行，且扩产周期长达2-3年，无法及时满足快速增长的市场需求。当前磷化铟衬底的供需缺口大，头部企业的在手订单已排至2028年。在供需紧张和国产替代的双重驱动下，国内磷化铟衬底企业将迎来重大发展机遇。而国内6英寸磷化铟衬底国产化率不足5%，国产替代进程有望加速。
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