显示面板设备精密零部件及材料生产基地项目、研发中心建设项目和上海臻宝装备零部件研发中心项目。通过本次募投项目的实施，公司将扩大硅、石英、碳化硅和氧化铝陶瓷等零部件产品的产能，提高产线生产效率，加速公司石墨、碳化硅等关键材料及静电卡盘、氮化铝加热器等新型零部件产品的研发与应用，完善公司“原材料+零部件+表面处理”一体化业务优势，推动公司技术创新，促进国内先进工艺零部件行业国产化水平的提升。
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