〈iframe width=100% scrolling=no height=410 frameborder=no border=0 src=https://stockpage.10jqka.com.cn/api/news_v2/688147_688785_688012_002371_688072_688082/〉   1月28日，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司(简称“恒运昌”；股票代码：688785.SH)正式在上海证券交易所科创板挂牌上市。  作为国内等离子体射频电源系统行业龙头厂商，恒运昌本次发行价格确定为92.18元/股，发行数量1693.0559万股，公开发行后总股本达6770.1688万股。募集资金将重点投向产业化基地建设、研发中心升级、技术支持中心及补充流动资金，精准卡位半导体行业增长红利。  此次上市不仅标志着公司进入资本赋能的新阶段，更将为我国半导体设备制造行业高质量发展注入强劲动力。  等离子体射频电源系统市场持续增长  作为国内领先的半导体设备核心零部件供应商，恒运昌深耕的等离子体射频电源系统，是半导体产业链中兼具技术深度与战略价值的关键环节。该产品被业内视为半导体设备零部件国产化的“最难关卡”，技术壁垒高、研发投入大、研发周期长。  在此背景下，恒运昌聚焦于等离子体射频电源系统的技术攻关，历经十年，先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，成功打破了美系两大巨头MKS和AE长达数十年在国内的垄断格局。公司自主研发的第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列可支撑7—14纳米先进制程，达到国际先进水平，填补国内空白。同时，公司承担了国家半导体产业的基础再造和重大技术装备攻关任务，先后承接3项国家级重大专项课题。  同时，恒运昌构建了涵盖信号采样及处理、相位锁定、同步控制等关键技术的自主体系，形成三大基石技术和八大产品化支撑技术，核心技术完全自主可控。最近三年恒运昌累计研发投入金额达1.14亿元，占最近三年累计营业收入比例为11.11%，最近三年研发投入的复合增长率为60.19%。截至2025年6月30日，恒运昌累计获得261项授权专利，其中发明专利108项，另有133项发明专利在申请中，同时承担工信部、科技部三项国家级重大科研课题，技术实力获国
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