据概念查询工具数据显示，光刻机零部件概念龙头有：
福晶科技002222：

龙头，福晶科技公司2024年实现净利润2.19亿，同比增长4.65%，近五年复合增长为11.08%；每股收益0.47元。

在晶体材料领域有技术优势，为光刻机提供核心材料，以优质的晶体材料研发生产，增强国产光刻机的材料自主保障能力。

回顾近7个交易日，福晶科技有4天下跌。期间整体下跌14.63%，最高价为70.6元，最低价为75.28元，总成交量1.42亿手。
炬光科技688167：

龙头，毛利率28.11%，净利率-28.21%，去年全年净利润-1.75亿，同比增长-293.17%。



在近7个交易日中，炬光科技有4天下跌，期间整体下跌18.79%，最高价为408.49元，最低价为362元。和7个交易日前相比，炬光科技的市值下跌了55.71亿元。
富创精密688409：

龙头，富创精密2024年公司营业总收入30.4亿，同比增长47.14%，近五年复合增长为58.53%；净利润为1.72亿，近五年复合增长为21.33%。



富创精密近7个交易日，期间整体上涨0.24%，最高价为94.15元，最低价为112.86元，总成交量4476.86万手。2026年来上涨28.62%。
腾景科技：3月13日消息，腾景科技最新报价219.760元，3日内股价上涨0.04%；今年来涨幅上涨20.39%，市盈率为406.96。公司合分束器项目应用于光刻机光学系统，可满足国产替代进口的需求。 茂莱光学：3月13日收盘消息，茂莱光学（688502）股价报355.880元/股，跌3.13%。7日内股价下跌2.56%，今年来涨幅下跌-13.63%，成交总金额5.38亿元，成交量148.93万手。公司研发的DUV光学透镜已应用于SMEE国产光刻机中，公司半导体检测设备光学模组供货KL。 数据由提供，仅供参考，不构成投资建议，股市有风险，投资需谨慎，据此操作，风险自担。

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